噴射真空泵的內部構件主要有拉瓦爾噴嘴和擴壓器組成，單級蒸汽噴射泵的結構如圖1所示，其它各級的結構形式與此基本相同。

其工作過程可分為三個階段：絕熱膨脹階段、混合階段、壓縮階段。

在絕熱膨脹階段，工作蒸汽通過縮放噴嘴后，壓力能轉化為速度能，以極高的速度進入擴壓器，同時工作蒸汽的壓力在噴嘴出口處下降，形成真空把被抽氣體吸入；

混合階段，被抽氣體進入擴壓器，在擴壓器中，蒸汽與被抽氣體發生碰撞、混合，進行能量交換，到擴壓器喉部完成混合，兩種氣體達到同一速度；

壓縮階段，經過擴壓器喉部后，混合氣速度降低，壓力進一步上升，在擴壓器出口達到大氣壓力或后一級噴射器的入口壓力，把被抽氣體排出。

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